一、往复真空泵
卧式往复式真空泵
往复式真空泵(又称活塞式真空泵)属于低真空获得设备(单级极限压力4×102～103Pa)，它通过连杆曲轴在曲轴箱内运动使活塞在气缸中作往复运动，配合吸排气阀完成吸排气动作，从而获得真空。往复泵多用于真空浸渍、钢水真空处理、真空蒸馏、真空结晶、真空过滤等方面抽除气体。
往复真空泵排气温度低，价格低廉，运用简单，在高压、小容量低真空环境应用场合，具有很高的性价比，新投入使用时真空度相对比较高，但是活塞是接触型运转部件，因此活塞的磨损是避免不了的，随着时间增加工作真空度将不断下降，直至无法满足生产的要求。
同时往复真空泵结构复杂，运转时震动大，因此工作时噪音大，耗油量大，故障率高是其致命的缺点，一旦出现故障维修量巨大，一般都需要开一台备用一台，增加了设备投资与运行费用。
另外往复泵抽取可凝性气体时会使润滑油乳化，因此只能应用在抽吸不可凝性(空气类)气体，也不能抽吸带有颗粒状的介质以及含氧过高、有爆炸性、对金属有腐蚀性、与泵油会起化学反应的气体，也不适用于把气体从一个容器输送到另一个容器、作输送泵用，这就限制了其适用范围。
二、螺杆真空泵
螺杆真空泵属于高真空获得设备，常规单级螺杆真空泵极限压力在1-50Pa之间(浙江螺杆真空泵厂家珂勒曦的干式螺杆真空可以达到0.1Pa)，是一种利用一对螺杆在泵壳中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用的抽气设备。目前螺杆真空泵应用较多的为干式螺杆真空泵。
干式螺杆真空最大的优点是可以实现多相混输，抽取可凝性气体及含颗粒介质气体。同时其结构简单，维护方便，可靠性也相对较高。因其转子运行过程无油参与，不会对被抽介质造成污染，排气更环保，回收便捷。
随着我国工业的发展，在半导体工业、液晶显示器等工艺制造中，对清洁真空环境的要求越来越高，传统的有油真空泵已经无法达到这样的要求。而螺杆干式真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、寿命长、能耗低、无油污染等优点，在很多领域开始替代部分传统的真空泵，应用于：半导体的CVD制程，核反应堆及核工业真空获得，化工真空蒸馏、溶剂萃取回收，医药工业的回收药液、消毒剂及药物中间体、为人造器官生产提供清洁无菌条件，食品工业中用于香料、香精浓缩、包装等等。
在具备诸多优点的同时，螺杆真空泵也存在转子加工难度大、涂层技术难以突破等问题，导致价格居高不下。同时国内的型线技术落后，优质型线几乎为欧美日所垄断(浙江螺杆真空泵厂家珂勒曦是国内少数拥有型线技术的厂家之一)，因此我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。
三、小结
综上所述，往复真空泵与螺杆真空泵所能达到的真空度不同，应用的领域及方式也会不同，因此企业需根据工况对真空环境的要求高低合理地选择泵的种类。比如，只需1000Pa或者更低的真空度，抽气介质也较为简单，那选择螺杆真空泵就无必要，往复真空泵或水环真空泵即可，既能达到生产要求，成本又低;如果企业生产抽气介质复杂、可凝，或者含有颗粒物质，真空度又高(比如1Pa)，那么往复真空泵就无法满足生产，干式螺杆真空泵才是好的选择。